扫描电子显微镜故障分析

什么是sem？

扫描电子显微镜（SEM）是导电金属和非金属成分的失效分析中的宝贵工具，并且以一定容量的百分比进行了由元素进行的大量研究。万博官网app体育SEM是确定裂缝或裂缝传播的原点，模式和方向的强大工具。SEM通过MACrophotography和StereoMicrocopy结合使用详细的文档来提供所检查特征或组件的完整代表。

SEM也在很大程度上在评估碎片，颗粒，残留物，腐蚀产物和需要高放大检查的其他特征的评估中。这些工具的必要性和多功能性通过他们在众多元素实验室公司广泛的情况下证明。万博官网app体育

SEM如何工作？

通过用聚焦的电子光束轰击样品的表面来操作SEM。电子束激发材料的电子，导致释放附加的二次电子。或者，电子束可以被样品反向散射，并从样品表面重新开始。可以收集和显示次级和后散射电子都以提供所评估表面的图像。前者提供了更大的表面特征和后者揭示了更大的地形表面细节和关于所评估表面的原子重量的信息。根据评估的目标，每种类型的电子在通过SEM分析中起特定作用。

SEM适合你吗？

故障分析中的SEM的主要优点是所得到的图像通常与光学摄影的图像相似，但具有明显更大的景深。SEM还允许在大约5倍到大于50,000倍的放大率下进行检查，允许样品和微观特征的大区域的文档，而无需更换仪器或镜头。SEM的主要缺点是缺乏彩色成像，它通过标准光学拍摄方法加强了样品文档的重要性与SEM。检查的样品也必须是导电的，尽管导电表面涂层和具有特殊变压样品室和电子检测器的SEM的使用并减轻了许多这些问题。

用电子轰击表面的极其有用的副作用是由于电子束的激发而通过材料的原子产生特征X射线。可以通过连接到SEM的能量分散X射线光谱仪（EDS）来检测和量化这些X射线。EDS提供了使用SEM检查的表面和特征的相对化学成分。该信息对于识别腐蚀产品，表面残留物或污染物，材料夹杂物，磨损碎片以及可能不借给其他传统化学分析技术的其他特征非常有用。EDS结果也可以与SEM图像组合以形成元素EDS映射，其提供所检查表面或特征中元素分布的图形表示。万博官网app体育